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下一代光刻胶支撑摩尔定律的延续

发布日期:2019-11-26 15:54|浏览量:   来源:  

讲座题目一代光刻胶支撑摩尔定律的延续

人:何向明(清华大学核能与新能源技术研究院新型能源与材料化学研究室主任/研究员/博导)

讲座时间:2019年11月28日10:00

讲座地点:化工楼A316会议室

欢迎有兴趣的师生前来聆听!

化学与材料工程学院

2019年11月26日

报告内容简介:

半导体技术的发展一直在按照摩尔定律延续。随着芯片是半导体数目的急剧增加,曝光光源波长越来越短,目前已经发展到极紫外13.5纳米光源。波长的变短不仅对光源提出了挑战,同时对光刻胶也提出了挑战。为了继续延续摩尔定律,下一代光刻胶在行动。本报告就上述问题,与大家分享。

报告对象:博士生、硕士生,以及感兴趣的本科生。

何向明介绍:

何向明,新型能源与材料化学研究室主任,研究员/博士生导师,锂离子电池课题组学术带头人。20多年来,一直从事锂离子电池及其关键材料研究,重点围绕锂离子电池的电性能及安全性关键科学问题,以材料化学为核心,通过多学科协同的创新解决锂离子电池中的关键材料技术、关键设计及制造技术及关键测试评估技术。在高比能量负极规模化制备技术、聚合物基高稳定性电解质、氧化物正极材料安全性改性方面具有丰富的生产研发经验。并从材料、电芯、模组层面,以及生产制造技术方面,研究解决动力电池的一致性、安全性、热特性,以及可靠性的问题。著有《锂离子电池正极材料规模化生产技术》、《聚合物性能与结构》、《电动汽车动力电池系统安全分析与设计》、《锂离子电池模组设计手册》等专著。获发明专利授权近400项。发表SCI论文270多篇。获一次部级技术发明一等奖。详情www.hexmgroup.com。

近年来,研究工作聚焦材料化学,开展了聚合物化学研究,MOFs/COFs多孔材料研究,储氢材料研究,EUV光刻胶研究。